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MILA-700AR風冷桌面型快速退火爐

MILA-700AR是一款風冷桌面型的快速退火爐。相較于MILA-5000，該設備加熱過程中不需要外接水冷，可由設備自身配置的風冷系統(tǒng)進行降溫。

應用	特點：
1. 晶圓，復合晶圓的快速加熱	1. 50°C / s快加熱
2. 光化學氣相沉積襯底加熱	2. 可在真空，惰性氣體，流動氣氛，空氣的氣氛下進行加熱
3. 熱循環(huán)測試	3. 精確的溫度控制
4. 涂膜的耐熱性評估	4. 緊湊的臺式設計，工作無需匹配水冷循環(huán)系統(tǒng)
5. 有機材料和樹脂的加熱和干燥

參數

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